Future challenges of atomic-layer-deposition technology: New-material synthesis and surface-engineering

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoNanotechnology Cluster Meeting, Osaka, Japan, Feb. 20, 2008
    TilaJulkaistu - 2008
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Siteeraa tätä