Fully Integrated Charge Sensitive Amplifier for Readout of Micromechanical Capacitive Sensors

M. Saukoski, T. Salo, K. Halonen

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    38 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoProceedings of the Baltic Electronics Conference BEC'04, October 3 - October 6, 2004, Tallinn, Estonia
    Sivut91
    TilaJulkaistu - 2004
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • charge-sensitive amplifier
    • CMOS
    • MEMS

    Siteeraa tätä