Fracture properties of atomic layer deposited aluminum oxide free-standing membranes

Maria Berdova, Oili M. E. Ylivaara, Ville Rontu, Pekka T. Törmä, Riikka Puurunen, Sami Franssila

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

16 Sitaatiot (Scopus)
633 Lataukset (Pure)

Hakutulokset