Fracture properties of atomic layer deposited aluminum oxide free-standing membranes

Maria Berdova; Oili M. E. Ylivaara; Ville Rontu; Pekka T. Törmä; Riikka Puurunen; Sami Franssila

doi:10.1116/1.4893769

Fracture properties of atomic layer deposited aluminum oxide free-standing membranes

Maria Berdova, Oili M. E. Ylivaara, Ville Rontu, Pekka T. Törmä, Riikka Puurunen, Sami Franssila

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd.

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

16 Sitaatiot (Scopus)

631 Lataukset (Pure)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivumäärä	5
Julkaisu	JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A
Vuosikerta	33
Numero	1
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1116/1.4893769
Tila	Julkaistu - 2015
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Pääsy asiakirjaan

10.1116/1.4893769Lisenssi: Määrittelemätön

Berdova-Ylivaara-et al-10-1116-1-4893769Final published version, 944 KB

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Repo, P. (Manager) & Rissanen, A. (Other)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility
Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Karppinen, M. (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{30d1a13b66a34f6dbb21aa8c33a9ded9,

title = "Fracture properties of atomic layer deposited aluminum oxide free-standing membranes",

author = "Maria Berdova and Ylivaara, {Oili M. E.} and Ville Rontu and T{\"o}rm{\"a}, {Pekka T.} and Riikka Puurunen and Sami Franssila",

year = "2015",

doi = "10.1116/1.4893769",

language = "English",

volume = "33",

journal = "JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A",

issn = "0734-2101",

publisher = "American Institute of Physics",

number = "1",

}

TY - JOUR

T1 - Fracture properties of atomic layer deposited aluminum oxide free-standing membranes

AU - Berdova, Maria

AU - Ylivaara, Oili M. E.

AU - Rontu, Ville

AU - Törmä, Pekka T.

AU - Puurunen, Riikka

AU - Franssila, Sami

PY - 2015

Y1 - 2015

U2 - 10.1116/1.4893769

DO - 10.1116/1.4893769

M3 - Article

SN - 0734-2101

VL - 33

JO - JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A

JF - JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY A

IS - 1

ER -

Fracture properties of atomic layer deposited aluminum oxide free-standing membranes

Pääsy asiakirjaan

Laitteet

OtaNano

OtaNano Nanofab

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri

Siteeraa tätä