Formation of excess donors during (74)Ge(+) ion implantation

Z. Xia, Eränen Ristolainen, H. Ronkainen, J. Suni, R. Elliman, M. Sopanen, P. Holloway

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoElectronic Materials Conference, Nov 28- Dec 2, 1994, Boston
    KustantajaMRS Fall Meeting
    TilaJulkaistu - 1994
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • excess donor
    • Ge ion implantation
    • SIMS

    Siteeraa tätä