Focused ion beam lithography for fabrication of suspended nanostructures on highly corrugated surfaces

M. Erdmanis, P. Sievilä, Syed Shah, N. Chekurov, V. Ovchinnikov, I. Tittonen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

24 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Focused ion beam lithography for fabrication of suspended nanostructures on highly corrugated surfaces'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds