Fitness function and nonunique solutions in x-ray reflectivity curve fitting: crosserror between surface roughness and mass density

Jouni Tiilikainen, Vesa Bosund, Marco Mattila, Teppo Hakkarainen, Jaakko Sormunen, Harri Lipsanen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    9 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut4259-4263
    Sivumäärä5
    JulkaisuJournal of Physics D: Applied Physics
    Vuosikerta40
    Numero14
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2007
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • atomic layer deposition
    • crowwerror
    • fitness landscape
    • x-ray reflectivity

    Siteeraa tätä