Filling of Slot Waveguides with Versatile Material Systems Using Atomic Layer Deposition

Tapani Alasaarela, Antti Säynätjoki, Petri Stenberg, Markku Kuittinen, Seppo Honkanen

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    1 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    SivutPaper JTuB4
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiIntegrated Photonics and Nanophotonics Research and Applications (IPNRA), Honolulu, Hawaii, USA, July 12-17, 2009
    KustantajaOptical Society of America

    Tutkimusalat

    • atomic layer deposition
    • integrated optics devices
    • waveguides

    Siteeraa tätä