Femtosecond versus nanosecond laser micro-machining of InP: a nondestructive three-dimensional analysis of strain

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli

Tutkijat

  • Lu Xu
  • Donnacha Lowney
  • Patrick J. McNally
  • A. Borowiec
  • Aapo Lankinen
  • Turkka O. Tuomi
  • A.N. Danilewsky

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut970-979
JulkaisuSemiconductor Science and Technology
Vuosikerta22
TilaJulkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • InP, micromachining, synchrotron topography

ID: 3468899