Fabrication of thick insulating membrane embedded in Si substrate

V. Ovchinnikov*, Y. Liu

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

Sormenjälki Sukella tutkimusaiheisiin 'Fabrication of thick insulating membrane embedded in Si substrate'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering & Materials Science