Fabrication of the Silicon Nanostructures by Reactive Ion Etching and Self-Organised Metal and Polymer Masks

A. Malinin, V. Ovchinnikov, C. Tuovinen, A. Hovinen, C. Xia

Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 1999
OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

Julkaisusarja

NimiLDSD '99 The Third International Conference on Low Dimensional Structures and Devices, Antalya, Turkey, 15-17 September 1999

Tutkimusalat

  • Nanostructures
  • Polymer Masks
  • RIE
  • Silicon

Siteeraa tätä