Fabrication of SOI micro- and nanoelectromechanical devices by focused ion beam doping and deep reactive ion etching

Nikolai Chekurov, Lauri Sainiemi, Antti Peltonen, Ilkka Tittonen, Sami Franssila

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiMicro and Nanoengineering, Ghent, 2009

    Siteeraa tätä