Fabrication of porous membrane filter from p-type silicon

K. Grigoras, S. Franssila, T. Sikanen, T. Kotiaho, R. Kostiainen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

20 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
OtsikkoPorous silicon science and technology 2004, Cullera-Valencia, Spain, 14-20.03.2004
Sivut166-169
TilaJulkaistu - 2004
OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

Siteeraa tätä