Fabrication of nanoclustered silicon surface with electric discharge

N. Suni, M. Haapala, E. Färm, M. Ritala, L. Sainiemi, Sami Franssila, T. Kotiaho, R. Kostiainen

Tutkimustuotos: Työpaperi › Working paper › Professional

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Nimi	TAS 2009, Jeju, South-Korea

Siteeraa tätä

@techreport{49b7fb8cf6694f0e92ac34bd13d93606,

title = "Fabrication of nanoclustered silicon surface with electric discharge",

author = "N. Suni and M. Haapala and E. F{\"a}rm and M. Ritala and L. Sainiemi and Sami Franssila and T. Kotiaho and R. Kostiainen",

year = "2009",

language = "English",

series = "TAS 2009, Jeju, South-Korea",

type = "WorkingPaper",

}

TY - UNPB

T1 - Fabrication of nanoclustered silicon surface with electric discharge

AU - Suni, N.

AU - Haapala, M.

AU - Färm, E.

AU - Ritala, M.

AU - Sainiemi, L.

AU - Franssila, Sami

AU - Kotiaho, T.

AU - Kostiainen, R.

PY - 2009

Y1 - 2009

M3 - Working paper

T3 - TAS 2009, Jeju, South-Korea

BT - Fabrication of nanoclustered silicon surface with electric discharge

ER -