| Alkuperäiskieli | Englanti |
|---|---|
| Tila | Julkaistu - 2008 |
| OKM-julkaisutyyppi | D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys |
Julkaisusarja
| Nimi | MicroNanoEngineering 2008, Athens |
|---|
Fabrication of freestending Al2o3 nanomembranes and bridges
L. Sainiemi, K. Grigoras, S. Franssila
Tutkimustuotos: Työpaperi › Working paper › Professional