Fabrication and characterization of an ultrasensitive acousto-optical cantilever for pressure sensing

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

  • Päivi Sievilä
  • Ville-Pekka Rytkölä
  • Ossi Hahtela
  • Nikolai Chekurov
  • Jyrki Kauppinen
  • Ilkka Tittonen

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut852-859
JulkaisuJournal of Micromechanics and Microengineering
Vuosikerta17
Numero5
TilaJulkaistu - 2007
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

  • acousto-optics, micromechanics, silicon cantilever, transducer

ID: 3584188