Extraction of the Opto-Geometrical Properties of Gratings from Scattering Data by Means of the Neural Network

I. Kallioniemi, J. Saarinen, E. Oja

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoDiffractive Optics, Savonlinna, Finland, July 7-9, 1997
    Sivut202-203
    TilaJulkaistu - 1997
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • diffraction gratings
    • neural networks
    • optical scatterometry

    Siteeraa tätä