Extraction of the opto-geometrical properties of gratings from scattering data by means of the neural network

I. Kallioniemi, J. Saarinen, E. Oja

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaJoensuu
    Sivut202-203
    TilaJulkaistu - 1997
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiEuropean Optical Society Topical Meeting in Diffractive Optics, Savonlinna, Suomi, 7.7-9.7.1997
    KustantajaEOS - European Optical Society

    Tutkimusalat

    • diffraction theory
    • diffractive optics
    • neural networks
    • scatterometry

    Siteeraa tätä