Experimental and theoretical study of heterogeneous iron precipitation in silicon

Antti Haarahiltunen, Hele Väinölä, O. Anttila, Marko Yli-Koski

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    51 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisuJournal of Applied Physics
    Vuosikerta101
    Numero4
    TilaJulkaistu - 2007
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • gettering
    • iron
    • oxide precipitates
    • precipitation
    • silicon

    Siteeraa tätä