Evaluation of carbon-doped low-k multilayer structure by nanoindentation

M. Fujikane, S. Nagao, X.W. Liu, D. Chrobak, A. Lehto, S. Yamanaka, R. Nowak

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    7 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut293-297
    Sivumäärä5
    JulkaisuJournal of Alloys and Compounds
    Vuosikerta448
    Numero1-2
    DOI - pysyväislinkit
    TilaJulkaistu - 2008
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Siteeraa tätä