Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Sivut | 234 |
Sivumäärä | 1 |
Julkaisu | Chemical Vapor Deposition |
Vuosikerta | 11 |
Numero | 5 |
DOI - pysyväislinkit |
|
Tila | Julkaistu - toukok. 2005 |
OKM-julkaisutyyppi | B1 Kirjoitus tieteellisessä aikakauslehdessä |
Erratum: Random deposition as a growth mode in atomic layer deposition (Chemical Vapor Deposition (2004) 10 (159))
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Comment/debate › Scientific › vertaisarvioitu