Equivalent-circuit model of the squeezed gas film in a silicon accelerometer

T. Veijola, H. Kuisma, J. Lahdenperä, T. Ryhänen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

    451 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut239-248
    JulkaisuSensors and Actuators A
    Vuosikerta48
    Numero3
    TilaJulkaistu - 1995
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • squeezed gas films, slip flow, effective gas viscosity

    Siteeraa tätä