Equivalent-circuit model of the squeezed gas film in a silicon accelerometer

T. Veijola; H. Kuisma; J. Lahdenperä; T. Ryhänen

Equivalent-circuit model of the squeezed gas film in a silicon accelerometer

T. Veijola, H. Kuisma, J. Lahdenperä, T. Ryhänen

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

451 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	239-248
Julkaisu	Sensors and Actuators A
Vuosikerta	48
Numero	3
Tila	Julkaistu - 1995
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

squeezed gas films, slip flow, effective gas viscosity

SFX-saatavuus

Koko teksti

Siteeraa tätä

@article{f2d0240b30054ff38cc2baec86bc9a9b,

title = "Equivalent-circuit model of the squeezed gas film in a silicon accelerometer",

keywords = "squeezed gas films, slip flow, effective gas viscosity, squeezed gas films, slip flow, effective gas viscosity, squeezed gas films, slip flow, effective gas viscosity",

author = "T. Veijola and H. Kuisma and J. Lahdenper{\"a} and T. Ryh{\"a}nen",

year = "1995",

language = "English",

volume = "48",

pages = "239--248",

journal = "Sensors and Actuators A: Physical",

issn = "0924-4247",

publisher = "Elsevier",

number = "3",

}

TY - JOUR

T1 - Equivalent-circuit model of the squeezed gas film in a silicon accelerometer

AU - Veijola, T.

AU - Kuisma, H.

AU - Lahdenperä, J.

AU - Ryhänen, T.

PY - 1995

Y1 - 1995

KW - squeezed gas films, slip flow, effective gas viscosity

M3 - Article

VL - 48

SP - 239

EP - 248

JO - Sensors and Actuators A: Physical

JF - Sensors and Actuators A: Physical

SN - 0924-4247

IS - 3

ER -