Enhancing reliability in practical XPS: Tailored tools in analysis of ALD surfaces

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    TilaJulkaistu - 2004
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiALD 2004, Helsinki 16.-18.8.2004

    Siteeraa tätä