Enhanced responsivity of co-hyperdoped silicon photodetectors fabricated by femtosecond laser irradiation in mixed SF₆/NF₃ atmosphere

Shengxiang Ma, Xiaolong Liu, Haibin Sun, Yang Zhao, Yue Hu, Xijing Ning, Li Zhao*, Jun Zhuang*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
JulkaisuJournal of the Optical Society of America B
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 9 tammik. 2020
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Siteeraa tätä