Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

Ilkka Tittonen*, Mika Koskenvuori

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Chapter › Scientific › vertaisarvioitu

1 Sitaatiot (Scopus)

Hakutulokset