Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures

Ilkka Tittonen*, Mika Koskenvuori

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaChapterScientificvertaisarvioitu

3 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Electrostatic and RF-Properties of MEMS Structures'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Engineering

Earth and Planetary Sciences

Material Science