Electromechanical analysis of micromechanical SOI-fabricated RF resonators

T. Lamminmäki, K. Ruokonen, I. Tittonen, T. Mattila, O. Jaakkola, A. Oja, H. Seppä, P. Seppälä, J. Kiihamäki

Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

6 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut217-220
TilaJulkaistu - 2000
OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

Julkaisusarja

NimiThird International Conference on Modeling and Simultation of Microsystems, San Diego, USA, March 27-29, 2000

Tutkimusalat

  • FEM
  • non-linearity
  • resonator
  • RF-MEMS

Siteeraa tätä