Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition

Ismo Heikkinen, Päivikki Repo, Ville Vähänissi, Toni Pasanen, Ville Malinen, Hele Savin

Tutkimustuotos: Muu tuotosProfessional

36 Lataukset (Pure)
AlkuperäiskieliEnglanti
TilaJulkaistu - 2017
OKM-julkaisutyyppiEi oikeutettu

Julkaisusarja

NimiScience Letter (Beneq)

Siteeraa tätä