Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition

Ismo Heikkinen; Päivikki Repo; Ville Vähänissi; Toni Pasanen; Ville Malinen; Hele Savin

Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition

Ismo Heikkinen, Päivikki Repo, Ville Vähänissi, Toni Pasanen, Ville Malinen, Hele Savin

Beneq Oy

Tutkimustuotos: Muu tuotos › Professional

42 Lataukset (Pure)

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2017
OKM-julkaisutyyppi	Ei sovellu

Julkaisusarja

Nimi	Science Letter (Beneq)

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Tämä tuotos edistää seuraavia kestävän kehityksen tavoitteita:

Pääsy asiakirjaan

Science-letter_Heikkinen_SurfacePassivation

OtaNano
Rissanen, A. (Manager)
Aalto-yliopisto
Laitteistot/tilat: Facility
OtaNano Nanofab
Repo, P. (Manager) & Rissanen, A. (Other)
OtaNano
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@misc{5cedd1780a4c4dcf9fc1a4b971cd09f3,

title = "Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition",

keywords = "spatial atomic layer deposition, nanostructured silicon, high surface area, surface passivation, conformal coating, aluminum oxide",

author = "Ismo Heikkinen and P{\"a}ivikki Repo and Ville V{\"a}h{\"a}nissi and Toni Pasanen and Ville Malinen and Hele Savin",

year = "2017",

language = "English",

series = "Science Letter (Beneq)",

type = "Other",

}

TY - GEN

T1 - Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition

AU - Heikkinen, Ismo

AU - Repo, Päivikki

AU - Vähänissi, Ville

AU - Pasanen, Toni

AU - Malinen, Ville

AU - Savin, Hele

PY - 2017

Y1 - 2017

KW - spatial atomic layer deposition

KW - nanostructured silicon

KW - high surface area

KW - surface passivation

KW - conformal coating

KW - aluminum oxide

M3 - Other contribution

T3 - Science Letter (Beneq)

ER -

Efficient surface passivation of black silicon using spatial atomic layer deposition

Julkaisusarja

YK:n kestävän kehityksen tavoitteet

Pääsy asiakirjaan

Laitteet

OtaNano

OtaNano Nanofab

Siteeraa tätä