Effects on intermediate zinc pulses on properties of TiN and Nbn films deposited by atomic layer epitaxy

M. Ritala, T. Asikainen, M. Leskelä, J. Jokinen, R. Lappalainen, M. Utriainen, L. Niinistö, E. Ristolainen

    Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticle

    47 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    Sivut199-212
    JulkaisuApplied Surface Science
    Vuosikerta120
    TilaJulkaistu - 1997
    OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

    Tutkimusalat

    • atomic layer epitaxy
    • NbN
    • thin film
    • TiN

    Siteeraa tätä