Effective passivation of black silicon surfaces by atomic layer deposition

Päivikki Repo, Antti Haarahiltunen, Lauri Sainiemi, Marko Yli-Koski, Heli Talvitie, Martin Schubert, Hele Savin

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

99 Sitaatiot (Scopus)
127 Lataukset (Pure)

Hakutulokset