Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Tila | Julkaistu - 2009 |
OKM-julkaisutyyppi | D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys |
Julkaisusarja
Nimi | 9th International Conference on Atomic Layer Deposition, Monterey, Kalifornia, Yhdysvallat, 19.-22.7. 2009 |
---|