Effect of substrate pretreatments on the atomic layer deposited Al2O3 passivation quality

Yameng Bao, Shuo Li, Guillaume von Gastrow, Päivikki Repo, Matti Putkonen, Hele Savin

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

14 Sitaatiot (Scopus)
281 Lataukset (Pure)

Hakutulokset