Alkuperäiskieli | Englanti |
---|---|
Artikkeli | 01A123 |
Sivumäärä | 4 |
Julkaisu | Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films |
Vuosikerta | 33 |
Numero | 1 |
DOI - pysyväislinkit | |
Tila | Julkaistu - 2015 |
OKM-julkaisutyyppi | A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu |
Effect of substrate pretreatments on the atomic layer deposited Al2O3 passivation quality
Yameng Bao, Shuo Li, Guillaume von Gastrow, Päivikki Repo, Matti Putkonen, Hele Savin
Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu
13
Sitaatiot
(Scopus)
204
Lataukset
(Pure)