Effect of growth temperature on the epitaxial growth of ZnO on GaN by ALD

Suvi Särkijärvi, Sakari Sintonen, Filip Tuomisto, Markus Bosund, Sami Suihkonen, Harri Lipsanen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

19 Sitaatiot (Scopus)

Hakutulokset