Effect of growth temperature on the epitaxial growth of ZnO on GaN by ALD

Suvi Särkijärvi, Sakari Sintonen, Filip Tuomisto, Markus Bosund, Sami Suihkonen, Harri Lipsanen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

19 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut18-22
Sivumäärä5
JulkaisuJournal of Crystal Growth
Vuosikerta398
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 15 heinäk. 2014
OKM-julkaisutyyppiA1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Tutkimusalat

  • ALD
  • positron
  • vacancy
  • ZnO

Siteeraa tätä