Dynamic evaluation of lateral and vertical displacement of thermally actuated MEMS devices

K. Hanhijärvi, Juha Aaltonen, I. Kassamakov, K. Grigoras, L. Sainiemi, S. Franssila, E. Haeggström

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    1 Sitaatiot (Scopus)
    AlkuperäiskieliEnglanti
    TilaJulkaistu - 2009
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

    Julkaisusarja

    NimiSPIE, Munich, Germany 2009

    Siteeraa tätä