Dynamic evaluation of lateral and vertical displacement of thermally actuated MEMS devices

K. Hanhijärvi, Juha Aaltonen, I. Kassamakov, K. Grigoras, L. Sainiemi, S. Franssila, E. Haeggström

Tutkimustuotos: Työpaperi › Working paper › Professional

1 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Tila	Julkaistu - 2009
OKM-julkaisutyyppi	D4 Julkaistu kehittämis- tai tutkimusraportti taikka -selvitys

Nimi	SPIE, Munich, Germany 2009

Siteeraa tätä

@techreport{a7075e9fc4ac40a19a3d94e3ae62dcd3,

title = "Dynamic evaluation of lateral and vertical displacement of thermally actuated MEMS devices",

author = "K. Hanhij{\"a}rvi and Juha Aaltonen and I. Kassamakov and K. Grigoras and L. Sainiemi and S. Franssila and E. Haeggstr{\"o}m",

year = "2009",

language = "English",

series = "SPIE, Munich, Germany 2009",

type = "WorkingPaper",

}

TY - UNPB

T1 - Dynamic evaluation of lateral and vertical displacement of thermally actuated MEMS devices

AU - Hanhijärvi, K.

AU - Aaltonen, Juha

AU - Kassamakov, I.

AU - Grigoras, K.

AU - Sainiemi, L.

AU - Franssila, S.

AU - Haeggström, E.

PY - 2009

Y1 - 2009

M3 - Working paper

T3 - SPIE, Munich, Germany 2009

BT - Dynamic evaluation of lateral and vertical displacement of thermally actuated MEMS devices

ER -