Dry fabrication of microdevices by the combination of focused ion beam and cryogenic deep reactive ion etching

Nikolai Chekurov; Kestutis Grigoras; Lauri Sainiemi; Antti Peltonen; Ilkka Tittonen; Sami Franssila

doi:10.1088/0960-1317/20/8/085009

Dry fabrication of microdevices by the combination of focused ion beam and cryogenic deep reactive ion etching

Nikolai Chekurov, Kestutis Grigoras, Lauri Sainiemi, Antti Peltonen, Ilkka Tittonen, Sami Franssila

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

17 Sitaatiot (Scopus)

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	085009
Julkaisu	Journal of Micromechanics and Microengineering
Vuosikerta	20
Numero	8
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1088/0960-1317/20/8/085009
Tila	Julkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppi	A1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

DRIE
FIB
MEMS

Pääsy asiakirjaan

10.1088/0960-1317/20/8/085009

http://iopscience.iop.org/0960-1317/20/8/085009/

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri
Maarit Karppinen (Manager)
Kemian tekniikan korkeakoulu
Laitteistot/tilat: Facility

Siteeraa tätä

@article{d70aee11e5904f9b92fbcc89c7c94da2,

title = "Dry fabrication of microdevices by the combination of focused ion beam and cryogenic deep reactive ion etching",

keywords = "DRIE, FIB, MEMS, DRIE, FIB, MEMS, DRIE, FIB, MEMS",

author = "Nikolai Chekurov and Kestutis Grigoras and Lauri Sainiemi and Antti Peltonen and Ilkka Tittonen and Sami Franssila",

year = "2010",

doi = "10.1088/0960-1317/20/8/085009",

language = "English",

volume = "20",

pages = "085009",

journal = "Journal of Micromechanics and Microengineering",

issn = "0960-1317",

publisher = "IOP Publishing Ltd.",

number = "8",

}

Dry fabrication of microdevices by the combination of focused ion beam and cryogenic deep reactive ion etching. / Chekurov, Nikolai; Grigoras, Kestutis; Sainiemi, Lauri; Peltonen, Antti ; Tittonen, Ilkka ; Franssila, Sami.

julkaisussa: Journal of Micromechanics and Microengineering, Vuosikerta 20, Nro 8, 2010, s. 085009.

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

TY - JOUR

T1 - Dry fabrication of microdevices by the combination of focused ion beam and cryogenic deep reactive ion etching

AU - Chekurov, Nikolai

AU - Grigoras, Kestutis

AU - Sainiemi, Lauri

AU - Peltonen, Antti

AU - Tittonen, Ilkka

AU - Franssila, Sami

PY - 2010

Y1 - 2010

KW - DRIE

KW - FIB

KW - MEMS

KW - DRIE

KW - FIB

KW - MEMS

KW - DRIE

KW - FIB

KW - MEMS

UR - http://iopscience.iop.org/0960-1317/20/8/085009/

U2 - 10.1088/0960-1317/20/8/085009

DO - 10.1088/0960-1317/20/8/085009

M3 - Article

VL - 20

SP - 085009

JO - Journal of Micromechanics and Microengineering

JF - Journal of Micromechanics and Microengineering

SN - 0960-1317

IS - 8

ER -

Dry fabrication of microdevices by the combination of focused ion beam and cryogenic deep reactive ion etching

Tutkimusalat

Pääsy asiakirjaan

Raaka-aineiden tutkimusinfrastruktuuri

Siteeraa tätä