Dry fabrication of microdevices by the combination of focused ion beam and cryogenic deep reactive ion etching

Nikolai Chekurov, Kestutis Grigoras, Lauri Sainiemi, Antti Peltonen, Ilkka Tittonen, Sami Franssila

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

17 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut085009
JulkaisuJournal of Micromechanics and Microengineering
Vuosikerta20
Numero8
DOI - pysyväislinkit
TilaJulkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

  • DRIE
  • FIB
  • MEMS

Siteeraa tätä