Dopant-induced stress in microfabricated silicon devices

P. Sievilä*, Jari Mäkinen, M. Tilli, I. Tittonen

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

7 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki Sukella tutkimusaiheisiin 'Dopant-induced stress in microfabricated silicon devices'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Physics & Astronomy