DLC-PDMS-hybrid patterning and surface treatment

T. Laakso, A. Soininen, S. Franssila

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleProfessional

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut103-105
JulkaisuProceedings MicroTAS
Vuosikerta2
TilaJulkaistu - 2004
OKM-julkaisutyyppiD1 Artikkeli kaupankäynnin julkaisussa

Tutkimusalat

  • dlc-pdms-hybrid

Siteeraa tätä