Diffusion Barrier Performance on Thin Cr Films in the Cu/Cr/Si Structure

Y. Ezer, Jaakko Härkönen, S. Arpiainen, V. Sokolov, P. Kuivalainen, J. Saarilahti, J. Kaitila

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

4 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut228-231
JulkaisuPhysica Scripta
VuosikertaT79
TilaJulkaistu - 1999
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Tutkimusalat

  • Chromium
  • Copper
  • Diffusion Barrier
  • Silicon

Siteeraa tätä