Design and fabrication of a tuning fork shaped voltage controlled resonator for low-voltage applications with additional tuning electrodes

Tutkimustuotos: Lehtiartikkelivertaisarvioitu

Tutkijat

Organisaatiot

Yksityiskohdat

AlkuperäiskieliEnglanti
Sivut--
JulkaisuJournal of Micromechanics and Microengineering
Numero11
TilaJulkaistu - 2013
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

ID: 790071