Depth Profiling and Quantification in Thin Film Heterostructure Materials by Secondary Mass Spectrometry

E.O. Ristolainen, P. Holloway

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    Otsikko4th European Vacuum Conference, 13-17 June, 1994, Uppsala
    TilaJulkaistu - 1994
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Tutkimusalat

    • heterostructure
    • SIMS
    • thin film

    Siteeraa tätä