Deposition of bismuth silicate thin films for buffer layers by atomic layer deposition

Jenni Harjuoja, Matti Putkonen, Lauri Niinistö

    Tutkimustuotos: TyöpaperiWorking paperProfessional

    AlkuperäiskieliEnglanti
    JulkaisupaikkaHelsinki
    Sivut90
    TilaJulkaistu - 2004
    OKM-julkaisutyyppiD4 Julkaistut kehitykset tai tutkimusraportit tai tutkimukset

    Julkaisusarja

    NimiAVS Topical Conference on Atomic Layer Deposition, Helsinki, August 16-18, 2004
    KustantajaAmerican Vacuum Society

    Siteeraa tätä