Defect formation and annealing behavior of InP implanted by low energy 15N ions

Eero Rauhala, Tommy Ahlgren, Kyösti Väkeväinen, J. Räisänen, J. Keinonen, Kimmo Saarinen, T. Laine, Jari Likonen

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

11 Sitaatiot (Scopus)
AlkuperäiskieliEnglanti
JulkaisuJournal of Applied Physics
Vuosikerta83
TilaJulkaistu - 1998
OKM-julkaisutyyppiA1 Julkaistu artikkeli, soviteltu

Siteeraa tätä