Damage production in hydrogen‐implanted silicon

J. Lahtinen; A. Vehanen; E. Punkka; Pekka Hautojärvi; J. Keinonen; Mikko Hautala; E. Rauhala; V. Karttunen; A. Kuronen; J. Räisänen

doi:10.1002/sia.740120513

Damage production in hydrogen‐implanted silicon

J. Lahtinen^*, A. Vehanen, E. Punkka, Pekka Hautojärvi, J. Keinonen, Mikko Hautala, E. Rauhala, V. Karttunen, A. Kuronen, J. Räisänen

^*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: Lehtiartikkeli › Article › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Sivut	325-326
Sivumäärä	2
Julkaisu	Surface and Interface Analysis
Vuosikerta	12
Numero	5
DOI - pysyväislinkit	https://doi.org/10.1002/sia.740120513
Tila	Julkaistu - 1988
OKM-julkaisutyyppi	A1 Alkuperäisartikkeli tieteellisessä aikakauslehdessä

Pääsy asiakirjaan

10.1002/sia.740120513

Muut tiedostot ja linkit

Link to publication in Scopus

Siteeraa tätä

@article{be0fe6e6fa314215bbf32dcc2df85dc0,

title = "Damage production in hydrogen‐implanted silicon",

author = "J. Lahtinen and A. Vehanen and E. Punkka and Pekka Hautoj{\"a}rvi and J. Keinonen and Mikko Hautala and E. Rauhala and V. Karttunen and A. Kuronen and J. R{\"a}is{\"a}nen",

year = "1988",

doi = "10.1002/sia.740120513",

language = "English",

volume = "12",

pages = "325--326",

journal = "Surface and Interface Analysis",

issn = "0142-2421",

publisher = "John Wiley & Sons",

number = "5",

}

TY - JOUR

T1 - Damage production in hydrogen‐implanted silicon

AU - Lahtinen, J.

AU - Vehanen, A.

AU - Punkka, E.

AU - Hautojärvi, Pekka

AU - Keinonen, J.

AU - Hautala, Mikko

AU - Rauhala, E.

AU - Karttunen, V.

AU - Kuronen, A.

AU - Räisänen, J.

PY - 1988

Y1 - 1988

UR - http://www.scopus.com/inward/record.url?scp=0024035865&partnerID=8YFLogxK

U2 - 10.1002/sia.740120513

DO - 10.1002/sia.740120513

M3 - Article

AN - SCOPUS:0024035865

SN - 0142-2421

VL - 12

SP - 325

EP - 326

JO - Surface and Interface Analysis

JF - Surface and Interface Analysis

IS - 5

ER -