Cycloheptatrienyl-cyclopentadienyl heteroleptic precursors for atomic layer deposition of group 4 oxide thin films

Jaakko Niinistö*, Timo Hatanpää, Maarit Kariniemi, Miia Mäntymäki, Leila Costelle, Kenichiro Mizohata, Kaupo Kukli, Mikko Ritala, Markku Leskelä

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

29 Sitaatiot (Scopus)

Sormenjälki

Sukella tutkimusaiheisiin 'Cycloheptatrienyl-cyclopentadienyl heteroleptic precursors for atomic layer deposition of group 4 oxide thin films'. Ne muodostavat yhdessä ainutlaatuisen sormenjäljen.

Material Science