Control of oxygen non-stoichiometry in MnCo2O4+? thin films grown by ALD

K. Uusi-Esko, E-L. Rautama, Timo Sajavaara, M. Pihlatie, M. Karppinen

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu

Alkuperäiskieli	Englanti
Otsikko	10th International Conference on Atomic Layer Deposition, posteriesitys, Soul, Etelä-Korea, 20.-23.6.2010
Tila	Julkaistu - 2010
OKM-julkaisutyyppi	A4 Artikkeli konferenssijulkaisussa

Siteeraa tätä

@inproceedings{51ccec333ed04aaeb519f02007fa9726,

title = "Control of oxygen non-stoichiometry in MnCo2O4+? thin films grown by ALD",

author = "K. Uusi-Esko and E-L. Rautama and Timo Sajavaara and M. Pihlatie and M. Karppinen",

year = "2010",

language = "English",

booktitle = "10th International Conference on Atomic Layer Deposition, posteriesitys, Soul, Etel{\"a}-Korea, 20.-23.6.2010",

}

Control of oxygen non-stoichiometry in MnCo2O4+? thin films grown by ALD. / Uusi-Esko, K.; Rautama, E-L.; Sajavaara, Timo et al.
10th International Conference on Atomic Layer Deposition, posteriesitys, Soul, Etelä-Korea, 20.-23.6.2010. 2010.

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussa › Conference article in proceedings › Scientific › vertaisarvioitu