Control of oxygen non-stoichiometry in MnCo2O4+? thin films grown by ALD

K. Uusi-Esko, E-L. Rautama, Timo Sajavaara, M. Pihlatie, M. Karppinen

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientificvertaisarvioitu

    AlkuperäiskieliEnglanti
    Otsikko10th International Conference on Atomic Layer Deposition, posteriesitys, Soul, Etelä-Korea, 20.-23.6.2010
    TilaJulkaistu - 2010
    OKM-julkaisutyyppiA4 Artikkeli konferenssijulkaisuussa

    Siteeraa tätä