Conformality of remote plasma enhanced ALD processes: an experimental study

M. Kariniemi, J. Niinistö, Matti Putkonen, M. Vehkamäki, M. Kemell, M. Ritala, M. Leskelä

    Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaConference contributionScientific

    AlkuperäiskieliEnglanti
    OtsikkoALD2011, Cambridge, MA, Usa, June 26-29, 2011
    TilaJulkaistu - 2011
    OKM-julkaisutyyppiB3 Ei-soviteltu artikkeli konferenssin julkaisusarjassa

    Siteeraa tätä