Conformality of atomic layer deposition in microchannels: impact of process parameters on the simulated thickness profile

Jihong Yim, Emma Verkama, Jorge A. Velasco, Karsten Arts, Riikka L. Puurunen*

*Tämän työn vastaava kirjoittaja

Tutkimustuotos: LehtiartikkeliArticleScientificvertaisarvioitu

15 Sitaatiot (Scopus)
81 Lataukset (Pure)
Suodatin
Päättynyt

Hakutulokset