Conformality analysis of the archetypical Al2O3 ALD process in 3-rd generation silicon based microscopic lateral high aspect ratio test structures

Tutkimustuotos: Artikkeli kirjassa/konferenssijulkaisussaPosterScientificvertaisarvioitu

AlkuperäiskieliEnglanti
TilaHyväksytty/In press - 27 kesäkuuta 2019
OKM-julkaisutyyppiEi oikeutettu
TapahtumaEuroCVD 22-Baltic ALD 16 Conference - Luxembourg, Luxemburg
Kesto: 24 kesäkuuta 201928 kesäkuuta 2019
https://www.eurocvd-balticald2019.lu/

Conference

ConferenceEuroCVD 22-Baltic ALD 16 Conference
MaaLuxemburg
KaupunkiLuxembourg
Ajanjakso24/06/201928/06/2019
www-osoite

Siteeraa tätä